Celda espectral integrada

Resumen:

Los aspectos de la presente descripción se refieren a una célula espectroscópica integrada que comprende un interferómetro de sistema microelectromecánico (MEMS) fabricado dentro de un primer sustrato y una estructura de redireccionamiento de la luz integrada en un segundo sustrato, en la que el segundo sustrato está acoplado al primer sustrato. La estructura de redireccionamiento de la luz incluye al menos un espejo para recibir un haz de luz de entrada que se propaga en una dirección fuera del plano con respecto al primer sustrato y redirigir el haz de luz de entrada a una dirección en el plano con respecto al primer sustrato hacia el interferómetro MEMS.