เซลล์สเปกตรัมแบบรวม

บทคัดย่อ:

แง่มุมของการเปิดเผยข้อมูลปัจจุบันเกี่ยวข้องกับเซลล์สเปกโตรสโกปีแบบบูรณาการซึ่งประกอบด้วยอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ระบบไมโครอิเล็กโทรเมกอล (MEMS) ที่สร้างขึ้นภายในสารตั้งต้นแรกและโครงสร้างการเปลี่ยนเส้นแสงที่รวมอยู่ในสารตั้งต้นที่สอง ซึ่งสารตั้งต้นที่สองถูกรวมเข้ากับสารตั้งต้นแรกโครงสร้างการเปลี่ยนเส้นทางแสงประกอบด้วยกระจกอย่างน้อยหนึ่งแก้วสำหรับรับลำแสงอินพุตที่แพร่กระจายในทิศทางนอกระนาบเมื่อเทียบกับพื้นผิวแรกและเปลี่ยนเส้นลำแสงอินพุตไปยังทิศทางในระนาบเมื่อเทียบกับสารตั้งต้นแรกไปยังอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ MEMS