Cellule spectrale intégrée

Résumé :

Certains aspects de la présente divulgation concernent une cellule de spectroscopie intégrée comprenant un interféromètre à microsystème électromécanique (MEMS) fabriqué dans un premier substrat et une structure de redirection de lumière intégrée sur un second substrat, le second substrat étant couplé au premier substrat. La structure de redirection de lumière comprend au moins un miroir destiné à recevoir un faisceau lumineux d'entrée se propageant dans une direction hors du plan par rapport au premier substrat et à rediriger le faisceau lumineux d'entrée dans une direction dans le plan par rapport au premier substrat en direction de l'interféromètre MEMS.