ARQUITECTURA DE ESCÁNER MEMS DE ÁNGULO ULTRA AMPLIO

Resumen:

Un microescáner óptico logra amplios ángulos de rotación utilizando un reflector curvo. El microescáner óptico incluye un espejo móvil para recibir un haz incidente y reflejar el haz incidente para producir un haz reflejado y un actuador del sistema microelectromecánico (MEMS) que provoca un desplazamiento lineal del espejo móvil. El reflector curvo produce una rotación angular del haz reflejado en función del desplazamiento lineal del espejo móvil.