超广角 MEMS 扫描器架构

摘要：

光学微扫描仪利用曲面反射器实现大旋转角度。光学微扫描仪包括一个用于接收入射光束和反射入射光束以产生反射光束的可移动反射镜，以及一个导致可移动反射镜线性位移的微机电系统 (MEMS) 执行器。曲面反射器根据可移动反射镜的线性位移产生反射光束的角度旋转。