Microespejo con abertura integrado y aplicaciones del mismo

Resumen:

Un tipo de interferómetro MEMS (MEMS) proporciona la autocalibración del posicionamiento del espéculo del espejo móvil. El espejo móvil está acoplado al actuador MEMS con capacitancia variable. Los interferómetros MEMS se incluyen para determinar en el circuito de detección de capacitancia de la capacitancia del actuador MEMS de dos o más posiciones conocidas del espejo móvil y para que la capacitancia del actuador en posición conocida se utilice para llevar a cabo el módulo de calibración de cualquier deriva en el circuito de detección de capacidad eléctrica de compensación.