结构化硅基热发射器

摘要：

本发明提供了一种由无序的半导体材料（例如黑硅）产生的光辐射源。光辐射源包括半导体衬底、蚀刻在半导体基板上的无序半导体结构和位于无序半导体结构附近、配置为将无序半导体结构加热到无序半导体结构发射热红外辐射的温度的加热元件。