集成开孔微镜及其应用

摘要：

提供了一种集成的开孔微镜，其中微镜与使用光刻和深度蚀刻技术在基板上制造的微光学平台单片集成在一起。微反射镜在其中有一个孔径，其方向使微镜通过光学耦合来接收在衬底平面上具有光轴的入射光束，并至少部分地通过孔径将入射光束穿过该光束。