MICRORESPELHO ABERTO INTEGRADO E SUAS APLICAÇÕES

Resumo:

É fornecido um microrespelho aberto integrado no qual o microrespelho é monoliticamente integrado a uma bancada micro-óptica fabricada em um substrato usando uma técnica litográfica e de gravação profunda. O microrespelho tem uma abertura interna e é orientado de forma que o microrespelho seja opticamente acoplado para receber um feixe incidente com um eixo óptico em um plano do substrato e para transmitir pelo menos parcialmente o feixe incidente através da abertura.