适用于光学微机电系统应用的光学机械光路延迟倍增器

摘要：

本发明的实施例提供了一种光学微机电系统 (MEMS) 装置，该装置提供光路延迟倍增器。微机电系统设备包括可移动的角立方体反射镜、固定反射镜和微机电系统执行器。可移动的角立方体反射器通过光学耦合，在角立方体反射器的一边接收入射光束，并且可以反射来自角立方体反射器另一边缘的入射光束。固定反射镜经过光学耦合，接收从可移动角立方体反射器反射的入射光束，并可将入射光束作为反射光束沿入射光束反射路径的反射光束反射回可移动的角立方体反射器。微机电系统执行器与可移动的角立方体反射器耦合，使可移动的角立方体反射器垂直于固定反射镜平面的位移，从而延长反射光束的光路长度。