UN MULTIPLICATEUR DE RETARD DE TRAJET OPTIQUE OPTO-MÉCANIQUE POUR LES APPLICATIONS MEMS OPTIQUES

Résumé :

Les modes de réalisation de la présente invention concernent un dispositif de microsystème électromécanique (MEMS) optique fournissant un multiplicateur de retard de trajet optique. Le dispositif MEMS comprend un réflecteur cubique à angle mobile, un miroir fixe et un actionneur MEMS. Le réflecteur cubique d'angle mobile est couplé optiquement pour recevoir un faisceau incident sur un bord du réflecteur cubique d'angle et peut fonctionner pour réfléchir le faisceau incident depuis un autre bord du réflecteur de cube d'angle. Le miroir fixe est couplé optiquement pour recevoir le faisceau incident réfléchi par le réflecteur cubique à angle mobile et peut fonctionner pour renvoyer le faisceau incident vers le réflecteur cubique à angle mobile sous la forme d'un faisceau réfléchi le long d'une trajectoire inverse du faisceau incident. L'actionneur MEMS est couplé au réflecteur cubique d'angle mobile pour provoquer un déplacement du réflecteur cubique d'angle mobile perpendiculairement à un plan du miroir fixe afin d'étendre la longueur du trajet optique du faisceau réfléchi.