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Autocalibração para posicionamento de espelho em interferômetros MEMS ópticos

Resumo:

Imagens

JP 2018530588

estados unidos
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inventor:
,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,.,,197,.
destinatário atual:
Sistemas SiWare | SI Ware Systems Inc
Status:
Granted
Data de status:
June 17, 2020
domínio:
Sistemas SiWare | SI Ware Systems Inc
aplicações em todo o mundo:
2015. us us. 2026. kr au ca wo es ep cn mx jp. 2017. us us 2018. il

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