Autocalibração para posicionamento de espelho em interferômetros MEMS ópticos
Resumo:
Imagens
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JP 2018530588
estados unidos
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inventor:
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destinatário atual:
Sistemas SiWare | SI Ware Systems Inc
Status:
Granted
Data de status:
June 17, 2020
domínio:
Sistemas SiWare | SI Ware Systems Inc
aplicações em todo o mundo:
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