Autocalibración para el posicionamiento del espejo en interferómetros MEMS ópticos

Resumen:

Los dispositivos de sistemas microelectromecánicos (MEMS) proporcionan la autocalibración del posicionamiento del espejo de un espejo móvil de un interferómetro. Al menos un espejo del dispositivo MEMS incluye una superficie no plana. El espejo móvil está acoplado a un actuador MEMS que tiene una capacitancia variable. El dispositivo MEMS incluye un circuito de detección capacitiva para determinar la capacitancia del actuador MEMS en una pluralidad de posiciones de referencia del espejo móvil correspondientes a una ráfaga central y a una o más ráfagas secundarias de interferogramas generadas por el interferómetro basándose en la superficie no plana. El módulo de calibración utiliza la capacitancia del actuador en la posición de referencia para compensar cualquier desviación en el circuito de detección capacitiva.