AUTOCALIBRACIÓN PARA EL POSICIONAMIENTO DEL ESPEJO EN INTERFERÓMETROS ÓPTICOS MEMS

Resumen:

Un interferómetro de sistema microelectromecánico (MEMS) permite la autocalibración de la posición del espejo de un espejo móvil. El espejo móvil está acoplado a un actuador MEMS que tiene una capacitancia variable. El interferómetro MEMS incluye un circuito de detección capacitiva para determinar la capacitancia del actuador MEMS en dos o más posiciones conocidas del espejo móvil y un módulo de calibración para usar las capacitancias del actuador en las posiciones conocidas para compensar cualquier desviación en el circuito de detección capacitivo.