Dispositivo MEMS de autoalineación

Resumen:

La presente invención se refiere en general a la espectroscopia óptica y a la interferometría óptica y, más particularmente, al uso de la tecnología de sistemas microelectromecánicos (MEMS) en interferómetros ópticos. Un sistema microelectromecánico (MEMS) se refiere a un dispositivo en el que los elementos mecánicos, los sensores, los actuadores y la electrónica se integran en un sustrato de silicio común mediante una tecnología de microprocesamiento. Por ejemplo, la microelectrónica se fabrica normalmente mediante un proceso de circuito integrado (IC), mientras que un proceso de microfabricación compatible se utiliza para eliminar de forma selectiva partes de una oblea de silicio o crear nuevas estructuras. Las capas se añaden para formar componentes mecánicos y electromecánicos con el fin de crear componentes micromecánicos. Los dispositivos MEMS se pueden procesar por lotes a bajo costo y son compatibles con los dispositivos microelectrónicos estándar, como la espectroscopía, la medición de formas, la detección ambiental, la medición del índice de refracción (o el reconocimiento de materiales) y varias otras aplicaciones de sensores. Además, dado que el dispositivo MEMS es de tamaño pequeño, se puede integrar fácilmente en un dispositivo portátil o portátil.