具有高度可控光学表面的微型光学台式设备

摘要：

微机电系统 (MEMS) 是指通过微加工技术将机械元件、传感器、执行器和电子集成到普通硅衬底上。例如，微电子通常使用集成电路（IC）工艺制造，而微机械元件则有选择地从部分硅晶片上蚀刻出来，或者相互连接以增加新的结构层。使用特定的微加工工艺制造，以形成机械和机电组件。由于其低成本、批处理能力以及与标准微电子的兼容性，微机电系统设备提供光谱学、轮廓测量、环境传感、折光率（或纹理感知）等。它是用于传感器应用的有吸引力的候选产品。此外，微机电系统设备的小尺寸有助于将此类微机电系统设备整合到移动和手持设备中。