一种在光学干涉仪中测定镜面位置的技术

摘要：

一种微机电系统（微机电系统）（MEMS）干涉仪系统使用电容传感电路的位置确定可移动反射镜。静电微机电系统执行器对可移动反射镜进行位移。电容传感电路感应微机电系统执行器的电容存在以及基于微机电系统执行器的电容值确定可移动镜的位置。