SISTEMA, MÉTODO E APARELHO PARA UM INTERFERÔMETRO MICROUSINADO USANDO DIVISÃO ÓPTICA

Resumo:

Um interferômetro microusinado é obtido usando um divisor de feixe de meio plano. O divisor de feixe é acoplado opticamente para receber um feixe incidente e opera para dividir o feixe incidente em dois feixes interferentes, cada um se propagando em um meio diferente. Um espelho fixo embutido em um dos meios reflete um dos feixes interferentes de volta para o divisor de feixe de meio plano através desse meio, enquanto um espelho móvel, que é controlado por um atuador, reflete o outro feixe interferente de volta para o referido divisor de feixe de meio plano através do outro meio. Um plano de detecção detecta um padrão de interferência produzido como resultado da interferência entre os feixes interferentes refletidos.