UNIDADE ESPECTRAL INTEGRADA
Resumo:
Este pedido reivindica prioridade e interesses no pedido provisório nº 62/350.486 apresentado ao Escritório de Marcas e Patentes dos Estados Unidos em 15 de junho de 2016. Todo o conteúdo é incorporado aqui por referência, como se estivesse totalmente descrito abaixo para todos os fins aplicáveis. As técnicas descritas abaixo estão relacionadas a dispositivos interferométricos integrados para medição de interferência e análise espectral, especialmente a dispositivos interferométricos baseados em sistema microeletromecânico integrado (MEMS).
Imagens
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