UM MULTIPLICADOR OPTO-MECÂNICO DE RETARDO DE CAMINHO ÓPTICO PARA APLICAÇÕES DE MEMS ÓPTICOS

Resumo:

Um dispositivo óptico de sistema microeletromecânico (MEMS) fornece um multiplicador de retardo de caminho óptico. O dispositivo MEMS inclui um refletor de cubo de canto móvel, um espelho fixo e um atuador MEMS. O refletor móvel do cubo de canto é acoplado opticamente para receber um feixe incidente e refletir o feixe incidente em 180 graus em direção ao espelho fixo. O espelho fixo é acoplado opticamente para refletir um feixe refletido de volta para o refletor móvel do cubo de canto ao longo de um caminho inverso do feixe incidente. O atuador MEMS é acoplado ao refletor móvel do cubo de canto para causar um deslocamento do refletor do cubo de canto móvel para estender o comprimento do caminho óptico do feixe refletido.