ARCHITECTURE DE SPECTROMÈTRE MEMS FT-IR COMPENSÉ

Résumé :

L'architecture d'un spectromètre à microsystème électromécanique (MEMS) compense les problèmes de verticalité et de dispersion à l'aide d'interfaces d'équilibrage. Un spectromètre/interféromètre MEMS comprend un séparateur de faisceau formé sur une première surface d'un premier support au niveau d'une interface entre le premier milieu et un second support, un premier miroir formé sur une deuxième surface du premier support, un deuxième miroir formé sur une troisième surface du premier support et des interfaces d'équilibrage conçues pour minimiser à la fois une différence d'angles d'inclinaison entre les surfaces et une différence d'erreurs de phase entre les faisceaux réfléchis par les premier et second miroirs.