อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ออปติคอลเมมส์ที่ใช้การแยกเชิงพื้นที่

บทคัดย่อ:

รูปแบบของการประดิษฐ์นี้มีอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ระบบไฟฟ้าแบบออปติคอล ไมโคร (MEMS) รวมถึงตัวแยกเชิงพื้นที่ คอมไบเนอร์เชิงพื้นที่ กระจกเคลื่อนย้ายได้และตัวกระตุ้น MEMSตัวแยกเชิงพื้นที่รับลำแสงอินพุตและแยกลำแสงอินพุตออกเป็นลำแสงอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ตัวแรกและลำดับที่สองตัวผสมเชิงพื้นที่รับลำแสงอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ตัวแรกและที่สองและรวมเข้าด้วยกันในเชิงพื้นที่เพื่อสร้างเอาต์พุตแต่ละลำแสงอินพุต ลำแสงอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ตัวแรกและที่สอง และลำแสงเอาต์พุตแพร่กระจายภายในสื่อการแพร่กระจายที่แตกต่างจากสื่อตัวแยกเชิงพื้นที่และสื่อผสมเชิงพื้นที่กระจกที่เคลื่อนย้ายได้จะได้รับลำแสงอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ตัวแรกและลำแสงที่สองและสะท้อนลำแสงที่ได้รับไปยังตัวผสมเชิงพื้นที่ตัวกระตุ้น MEMS ถูกเชื่อมต่อกับกระจกที่เคลื่อนย้ายได้เพื่อทำให้เกิดการเคลื่อนที่เพื่อสร้างความแตกต่างของเส้นทางออปติคัลระหว่างลำแสงอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ตัวแรกและลำแสงอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ที่สอง ตัวแยกเชิงพื้นที่อาจรวมถึงตัวแยกแบบตัดตัด, ท่อนำคลื่นแบบรบกวนหลายโหมด (MMI), ตัวแยกช่องเสียบหรือตัวแยก Yตัวผสมเชิงพื้นที่อาจรวมถึงองค์ประกอบโฟกัส, ท่อคลื่น MMI กลวง, เครื่องผสมแบบรู, ตัวผสมแบบมีรูป, ตัวผสมแบบมีรอยสองชั้น หรือ Y คอมไบเนอร์