การครอบคลุมขั้นตอนที่เลือกสำหรับโครงสร้างไมโครฟบิวรี่

บทคัดย่อ:

หน้ากากเงาที่มีช่องเปิดสองระดับขึ้นไปช่วยให้สามารถครอบคลุมขั้นตอนที่เลือกได้ของโครงสร้างที่ผลิตไมโครภายในอุปกรณ์ม้านั่งไมโครออปติคอลหน้ากากเงาประกอบด้วยช่องเปิดแรกภายในพื้นผิวด้านบนของหน้ากากเงาและช่องเปิดที่สองภายในพื้นผิวด้านล่างของหน้ากากเงาช่องเปิดที่สองอยู่ในแนวเดียวกับช่องเปิดแรกและมีความกว้างที่สองน้อยกว่าความกว้างแรกของช่องเปิดแรกการทับซ้อนกันระหว่างช่องเปิดแรกและช่องเปิดที่สองก่อให้เกิดรูภายในหน้ากากเงาซึ่งอาจเกิดการเคลือบแบบเลือกของโครงสร้างไมโครประดิษฐ์ภายในอุปกรณ์ม้านั่งไมโครออปติคัล