อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ MEMS แบบออปติคอลอิงตามการแยกลำแสง

บทคัดย่อ:

อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ระบบไฟฟ้าแบบออปติคัลไมโคร (MEMS) ชนิดหนึ่งที่ใช้การแยกลำแสงอวกาศ รวมถึงตัวแยกลำแสงเชิงพื้นที่สำหรับพื้นที่ลำแสงอินพุตที่จะส่งเป็นลำแสงอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์สองลำแสงและอุปกรณ์รวมพื้นที่สำหรับช่องว่างของลำแสงอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์สองช่องที่จะปิดกับลำแสงมีกระจกเคลื่อนที่ MEMS ชนิดหนึ่งสำหรับการสร้างความแตกต่างของเส้นทางแสงระหว่างลำแสงอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ตัวแรกและลำแสงอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ที่สอง