แอคชูเอเตอร์ MEMS ระยะการเดินทางไกล

บทคัดย่อ:

แอคชูเอเตอร์ขับเคลื่อนหวีไฟฟ้าสถิตย์สำหรับอุปกรณ์ MEMS ประกอบด้วยชุดสปริงยืดและชุดขับหวีตัวแรกและที่สอง ซึ่งแต่ละชุดเชื่อมต่อกับชุดสปริงดัดที่ด้านตรงข้ามชุดหวีตัวแรกและชุดที่สองแต่ละชุดประกอบด้วยนิ้วหัวหวีแบบถาวร และนิ้วขับหวีแบบเคลื่อนย้ายได้ที่จับคู่กับชุดสปริงยืดและยืดไปทางนิ้วขับหวีคงที่นิ้วตัวขับหวีจะถูกแบ่งอย่างเท่าเทียมกันระหว่างชุดขับหวีตัวแรกและที่สองและวางอย่างสมมาตรรอบแกนสมมาตรของชุดสปริงยืดเมื่อใช้พลังงานไฟฟ้า นิ้วขับหวีที่เคลื่อนย้ายได้ทั้งของชุดขับหวีตัวแรกและชุดที่สองจะเคลื่อนไปทางนิ้วขับหวีคงที่ของชุดขับหวีตัวแรกและชุดที่สอง