เทคนิคในการกำหนดตำแหน่งกระจกในออปติคัลอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์

บทคัดย่อ:

ระบบอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ Micro Electro-Mechanical System (MEMS) ใช้วงจรตรวจจับแบบคาปาซิทีฟเพื่อกำหนดตำแหน่งของกระจกเคลื่อนที่ได้ตัวกระตุ้น MEMS ไฟฟ้าสถิตย์ถูกเชื่อมต่อกับกระจกเคลื่อนที่ได้เพื่อทำให้เกิดการเคลื่อนย้ายวงจรตรวจจับแบบ Capacitive รับรู้ความจุกระแสของแอคทูเอเตอร์ MEMS และกำหนดตำแหน่งของกระจกเคลื่อนที่ได้ตามความจุกระแสของแอคทูเอเตอร์ MEMS