Actionneur MEMS à longue portée

Résumé :

Un actionneur d'entraînement à peigne électrostatique pour un dispositif MEMS comprend un ensemble ressort de flexion et des premier et second ensembles d'entraînement à peigne, chacun étant couplé à l'ensemble ressort de flexion sur des côtés opposés de celui-ci. Chacun des premier et second ensembles de peignes comprend des doigts d'entraînement de peigne fixes et des doigts d'entraînement de peigne mobiles couplés à l'ensemble ressort de flexion et s'étendant vers les doigts d'entraînement de peigne fixes. Les doigts d'entraînement du peigne sont répartis de manière égale entre les premier et second ensembles d'entraînement du peigne et placés symétriquement par rapport à un axe de symétrie de l'ensemble ressort de flexion. Lorsqu'ils sont alimentés électriquement, les doigts d'entraînement en peigne mobiles des premier et second ensembles d'entraînement en peigne se déplacent simultanément vers les doigts d'entraînement en peigne fixes des premier et second ensembles d'entraînement en peigne.