UN MULTIPLICATEUR DE RETARD DE TRAJET OPTIQUE OPTO-MÉCANIQUE POUR LES APPLICATIONS MEMS OPTIQUES

Résumé :

Un dispositif à microsystème électromécanique optique (MEMS) fournit un multiplicateur de retard du chemin optique. Le dispositif MEMS comprend un réflecteur cubique à angle mobile, un élément secondaire fixe et un actionneur MEMS. Le réflecteur cubique à angle mobile est couplé optiquement pour recevoir un faisceau incident et réfléchir le faisceau incident à 180 degrés vers le miroir fixe. Le mineur fixe est couplé optiquement pour renvoyer un faisceau réfléchi vers le réflecteur cubique à angle mobile le long d'une trajectoire inverse du faisceau incident. L'actionneur MEMS est couplé au réflecteur cubique d'angle mobile pour provoquer un déplacement du réflecteur cubique d'angle mobile afin d'étendre la longueur du trajet optique du faisceau réfléchi.